捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統
名稱：其他儀器與工具
品牌：
型號：
簡介：捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經聚焦照射樣品后，就能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內部制備...
申請服務
- 產品介紹
捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經聚焦照射樣品后，就能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內部制備截面樣品。通過與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結構。
捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統采用高性能的FIB鏡筒，最大離子束流高達 60 nA，能進行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨，制備100 μｍ以上用來觀察的截面非常輕松。捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性。用戶友好的外觀和GUI設計，建立了使用方便的FIB系統。即使不是FIB專家也能夠輕松操作，此外，該裝置小巧緊湊為業界最小體積，安裝地點的選擇范圍很大。捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統標配的塊狀樣品馬達驅動樣品臺可供塊狀樣品使用，此外還可以增配側插式測角臺（TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入）。塊狀樣品馬達驅動樣品臺能觀察整個表面為20 mm x 20 mm的塊狀樣品，樣品交換可以通過氣鎖式系統快速進行。側插式測角臺與JEOL的TEM系統使用的相同，因此Tip-on （尖端上可以安裝附件的）樣品架與JEOL的TEM系統可以通用，這樣，FIB加工和TEM觀察的反復交替就能很容易地進行。有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應用特別有效的CAD導航系統，對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統等。通過給JIB-4000安裝適當的附件，該系統可以支持樣品制備以外的應用。
| 離子源 | Ga （鎵）液態金屬離子源 |
| 加速電壓 | 1～30ｋV（5 kV/步） |
| 放大倍率 |
×60 （用于視場搜索） ×200～×300,000 |
| 圖像分辨率 | 5 nm (30 kV) |
| 最大束流 | 60 nA (at 30 kV) |
| 可變光闌 | 12 檔(馬達驅動) |
| 離子束加工形狀 | 矩形、線狀、點狀 |
| 樣品臺 |
塊狀樣品用 5 軸測角樣品臺 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ～ －23 mm T:－5 ～ ＋60° R:360°無限 樣品最大尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ） |
最新產品
相關產品
