Agilent B1500A 半導體器件分析儀
名稱：其他儀器與工具
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簡介：Agilent B1500A 半導體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器，可支持 IV 和 CV 測量及快速高電壓脈沖測量。它采用常見的 Microsoft Windows 用戶界面，可支持 Agilent EasyEXPERT...
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- 產品介紹
Agilent B1500A 半導體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器，可支持 IV 和 CV 測量及快速高電壓脈沖測量。它采用常見的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 軟件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務的新方法。Agilent B1500A 具有極佳的低電流、低電壓和集成電容測量能力，因此可滿足廣泛的半導體器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它還是一款用于非易失存儲單元表征和高速器件表征（包括先進 NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測量）的出色解決方案。
Agilent B1500A主要特性與技術指標 一般特性
•基于 PC 的儀器，具有 Windows ® XP Professional 操作系統
•針對電流－電壓（IV）、電容－電壓（CV）、脈沖生成、快速 IV和時域測量的綜合解決方案。
•用于電源監測單元（SMU）和其他模塊類型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 個模塊插槽
•通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進行離線數據分析和應用測試開發
測量能力
•支持 0.1fA 和 0.5µV 電流－電壓（IV）測量
•支持準靜態和中頻電容－電壓（CV）測量
•支持精確的快速 IV 和時域測量，適用于各種應用，例如脈沖 IV、NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測量。
•支持用于大功率和存儲器測試的高電壓脈沖生成（高達 ±40 V）功能。
B1500A 目前具有 7 種模塊。請參見本頁底部的模塊選型表。
應用主題
現已提供有關太陽能電池表征的新應用指南和示例程序。請訪問 “用于太陽能電池測試的精密 SMU 產品”頁面。
模塊信息
•B1500A 支持 3 類 SMU 和 ASU，以執行超精密測量。有關 SMU 的更多信息，請參見本頁的模塊選型指南。
•B1525A（HV-SPGU：高電壓――半導體脈沖發生器單元）模塊可提高閃存測試的吞吐量。 B1525A 演示網頁提供在線演示視頻。
•B1530A（WGFMU：波形發生器和快速測量單元）模塊可幫助您執行以前無法進行的關鍵脈沖測量。更多信息，請訪問 B1530A 產品頁面。
相關鏈接
•B1500A 提供各種脈沖解決方案。最新的安捷倫選型指南可幫助您選擇最適合您應用的解決方案。更多信息，請訪問 安捷倫脈沖 IV 參數測試解決方案頁面。 安捷倫脈沖 IV 參數測試解決方案頁面。
•EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 不但可以幫助您提高測量效率，而且還可提供易于使用的測試環境。更多信息，請訪問 EasyEXPERT 頁面。 EasyEXPERT 頁面。
•安捷倫低泄漏開關矩陣系列能夠靈活地生成自動化測量解決方案，而不會影響測量性能。更多信息，請訪問 開關矩陣系列頁面。 開關矩陣系列頁面。
特性和優勢
•優異的 IV 測量性能：0.1 fA / 0.5 µV 測量分辨率
- 測量特性包括單通道和多通道掃描、時間采樣、列表掃描、準靜態 CV（使用 SMU）、直接控制和針對 HV-SPGU 的任意線性波形生成（ALWG）GUI。
•可選的集成電容模塊支持高達 5 MHz 的 CV 測量
•基于定位器的可選 CV-IV 開關解決方案提供 0.5 µV 的電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的電流測量分辨率能力
•使用內置半自動晶圓探頭驅動程序可輕松自動完成測試；在快速測試模式下，用戶無需編程即可排列測試順序
•可選的高電壓半導體脈沖發生器單元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）輸出
•可選的波形發生器/快速測量單元（WGFMU）提供 ALWG 和快速電流或電壓測量能力
•10 ns 脈沖 IV 解決方案，用于表征高 k 柵極電介質和 SOI（絕緣硅）晶體管
•典型測試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風格和術語，同時通過充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加強用戶交互
模塊選型指南
模塊 所需插槽數 主要技術指標
B1510A HPSMU 2 高達 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率
B1511A MPSMU 1 高達 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率
B1517A HRSMU 1 高達 100 V、100 mA，1 fA 電流分辨率
E5288A ASU 無 高達 100 V、100 mA，100 aA 當前分辨率
B1520A MFCMU 1 1 kHz 至 5 MHz，高達 100 V 直流偏置，具有 SMU
B1525A HV-SPGU 1 最小 12.5 ns 脈沖寬度，10 ns 跳變時間、高達 40 V 和 3 級脈沖
B1530A WGFMU 1 最小 100 ns 脈沖寬度、10 V 峰峰值輸出、5 ns 電流或大于測量采樣速率
