捷歐路JEOL 軟X射線分析譜儀
名稱：其他儀器與工具
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簡介：捷歐路JEOL 軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了極高的能量分辨率。和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊...
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捷歐路JEOL 軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了極高的能量分辨率。和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的極高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。
捷歐路JEOL 軟X射線分析譜儀系統簡介：
最新開發設計的分光系統，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態分析分佈圖。各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖。即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。
捷歐路JEOL 軟X射線分析譜儀產品規格：
能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區50-170eV
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區70-210eV
分光譜儀艙安裝位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側）
FE-SEM的WDS接口（正面左后側）
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
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