捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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簡介：捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒式（semi-in-lens）高分辨率場發(fā)射掃描電鏡，照明系統(tǒng)采用High Power Optics（高性能電子光學系統(tǒng)），可以進行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合G...
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- 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒式（semi-in-lens）高分辨率場發(fā)射掃描電鏡，照明系統(tǒng)采用High Power Optics（高性能電子光學系統(tǒng)），可以進行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束），可以用幾百電子伏的入射電子束觀察樣品的淺表面。半浸沒式（semi-in-lens）物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細；浸沒式（in-lens）肖特基場發(fā)射電子槍壽命長，能獲得穩(wěn)定的電流，這兩者的結(jié)合既兼顧了高分辨率觀察同時也能夠進行高空間分辨率分析。通過給樣品加以偏壓并照射電子束，能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 ，以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實現(xiàn)的。
電子光學系統(tǒng)采用了高性能電子光學系統(tǒng)。不僅能進行高分辨率觀察還可以進行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。
| 電子槍 | 肖特基場發(fā)射 |
| 物鏡 | semi-in-lens物鏡 |
| 分辨率 |
1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式：3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA |
| 加速電壓 | 0.1～30kV |
| 束流 | 幾pA ～ 200nA @ 15 kV |
| 自動光闌角最佳控制透鏡 | 內(nèi)置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75～×3,000,000(1280 x 960 pixels display); |
| 檢測器 |
高位檢測器（SED） 低位檢測器（LED） |
| 能量過濾器 | r-能量過濾器 |
| Gentle Beam模式 | 內(nèi)置 |
| 樣品交換室 |
內(nèi)置（具有干燥氮氣導入功能） 氣鎖式、可交換的最大樣品：φ100mm×40mmH |
| 樣品臺 | 5軸馬達驅(qū)動、全對中測角樣品臺 |
| 樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉(zhuǎn): 360° |
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