日立 SU1510 掃描電子顯微鏡
名稱：光學測試儀器
品牌：
型號：
簡介：日立 SU1510 掃描電子顯微鏡是一款帶有中等尺寸樣品室的可變壓力掃描電子顯微鏡，具有與S -3400N和S -3700N相同的性能和功能。極大地提高了低加速電壓的性能，并增加了電子束電流更適應當今的SDD X射線探測器。雙端口可以同時安...
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- 產品介紹
日立 SU1510 掃描電子顯微鏡是一款帶有中等尺寸樣品室的可變壓力掃描電子顯微鏡，具有與S -3400N和S -3700N相同的性能和功能。極大地提高了低加速電壓的性能，并增加了電子束電流更適應當今的SDD X射線探測器。雙端口可以同時安裝兩個相隔180度的EDS檢測器，不僅可以用于元素分析，而且也可消除因樣品的粗糙表面所引起的X射線圖像的陰影。高速，清潔，高效的渦輪分子泵（TMP）無需使用冷卻水。體型小巧，超高性能和操作便捷等卓越性能使得SU1510成為一款能夠完全滿足任何先進實驗室需求的可變壓力的掃描電子顯微鏡。
日立 SU1510 掃描電子顯微鏡特點
標準配備渦輪分子泵（TMP）。因為無油，最大限度的地減少了樣品污染。和傳統的油擴散泵掃描電子顯微鏡不同，此款產品不需較大的加熱功率和水冷循環裝置，從而使得它成為一款有利于節能，生態環保的掃描電子顯微鏡。
為了幫助沒有經驗的用戶，SU1510通過屏幕上的操作指南來引導用戶逐步完成成像過程 - 從選擇真空模式到捕捉圖像。這項獨特的功能，使所有不同經驗水平的用戶都可以快速獲得高質量的圖像。
SU1510所采用的先進技術能夠保證二次電子分辨率達到3.0nm（高真空模式），保證背散射電子分辨率達到4.0nm（可變壓力模式）。
為了便于對非導電樣品快速觀察，SU1510采用了可變壓力模式來消除負電荷，并為成像和EDX分析提供了最佳條件。（*1）
樣品室和樣品臺的獨特設計使其可以裝載直徑達153mm的樣品。分析時工作距離為15mm，樣品最大高度60mm，可同步進行EDX分析和成像。
如用戶需要可變壓力模式下的二次電子像，可選擇ESED-II（*2）配件。因為該檢測器已集成到SU1510的圖形用戶界面里，并完全采用了全自動化軟件驅動模式，以便操作者隨時使用。
（*1）X射線能譜分析儀（可選件）
（*2）：環境二次電子檢測器（可選件）
（*3）：請自備桌子。
（*4）：上述圖像僅為模擬圖像，非實際圖像。
 項目 |
描述 | |
| 二次電子分辨率 | 30kV時，3.0nm（高真空模式） | |
| 背散射電子分辨率 | 30kV時，4.0nm（低真空模式） | |
| 放大倍率 | ×5 - ×300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
| 低真空范圍 | 6 - 270Pa 圖形菜單 | |
| 圖像移動 | ±50µm（WD=15mm） | |
| 最大樣品尺寸 | ¢153mm | |
| 樣品臺 | X | 0 - 80mm |
| Y | 0 - 40mm | |
| Z | 5 - 50mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可觀察區域 | ¢126mm（可旋轉） | |
| 最大樣品高度 | 60mm（WD=15mm） | |
| 電子光學 | 電子槍 | 預對中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可變物鏡光闌 | |
| 槍偏壓 | 4偏壓（可變偏壓） | |
| 檢測器 | 二次電子檢測器 | |
| 高靈敏度背散射電子檢測器 | ||
| 分析位置 | WD = 15mm, 取出角 = 35° | |
| 顯示器 | 操作系統 | Windows® XP（如有更改，恕不另行通知） |
| 控制模式 | 鼠標，鍵盤 | |
| 顯示器 | 19英寸液晶顯示器（如有更改，恕不另行通知） | |
| 自動合軸 | 自動束流設定，自動合軸 | |
| 自動圖像調整 | 自動聚焦，自動消象散/聚焦 | |
| 自動調整亮度和對比度 | ||
| 存儲圖像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 | |
| 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
| 圖像存檔 | 檢索功能/內置圖像數據庫，帶圖像處理功能 | |
| 圖像文件格式 | BMP，TIFF，JPEG | |
| 自動數據顯示 | 加速電壓，放大倍率，微標尺，單位，工作距離，日期/時間，檢測器，壓力值 | |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式：1,280 × 960 像素 | |
| 小屏模式：640 × 480 像素 | ||
| 2分割圖像模式：640 × 480 像素 ×2 | ||
| 信號混合模式 | ||
| 排氣系統 | 操作 | 全自動程序 |
| 渦輪分子泵 | 210L/s × 1 | |
| 機械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
| 機械泵 | 斷電保護，漏電保護 | |
| 輔助功能 | 光柵旋轉 | |
| 動態聚焦/傾斜補償 | ||
| 動態消像散 | ||
| 自由排版打印功能 | ||
| 三維動畫維修指南 | ||
| 操作指南 | ||
| 測量方便 | ||
| 傾斜圖像 | ||
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