SE800 UV/VIS光譜橢偏儀
名稱：物性分析測試儀器
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簡介：SE800 UV/VIS光譜橢偏儀主要用于玻璃上透明薄膜,發光材料和半導體有機物,吸收和透明襯底上多層膜,玻璃上防反射膜，微電子應用：SOI/高K/低K.各項異性材料測量。 光譜范圍：350 nm - 850 nm 可選: 280 nm -...
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- 產品介紹
SE800 UV/VIS光譜橢偏儀 主要用于玻璃上透明薄膜,發光材料和半導體有機物,吸收和透明襯底上多層膜,玻璃上防反射膜，微電子應用：SOI/高K/低K.各項異性材料測量。
光譜范圍：350 nm - 850 nm
可選: 280 nm - 850 nm
SE 800是采用快速二極管陣列探測器的高性能光譜橢偏儀，在紫外/可見光范圍內兼具快速數據采集速度和全光譜范圍分辨率。
光譜橢偏儀SE 800適用于復雜應用，比如測量玻璃上的透明薄膜，發光體和半導體聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多層膜，窗材料的減反射膜，先進的微電子應用比如SOI，高k值和低k值材料。各向異性樣品和非均勻樣品也能夠被分析。
光譜橢偏儀 SE 800 特征
·步進掃描分析器工作方式，對較低光強也同樣有效
·消色差補償器在整個0-360度范圍內都可極準確和精確地測量出橢偏角度。能夠分析偏振因數和補償退偏效應
·起偏器跟蹤技術可以為每一種應用都提供最高的測量精度
·自動對準鏡用于樣品傾斜度調節，顯微鏡用于樣品高度調節，能夠提供最高的樣品對準精度
·高穩定性的操作，所有硬件操作由其內置的微控制器分別控制，基于Windows XP系統的最新型電腦
·SpectraRay II – 功能強大的光譜橢偏儀軟件
主要應用
·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
·在紫外-可見光波段測量材料的光學性質
·測量厚度梯度
·測量膜表面和界面間的粗糙程度
·確定材料成分
·分析薄金屬膜
·分析各向異性材料和薄膜
·CER – 結合橢偏測量和反射測量
·CET – 結合橢偏測量和透射測量
選項
·紫外擴展選項 280 - 850 nm
·計算機控制角度計，40º-90º, 可選 20º-90º ，精度0.01º
·手動x-y載物臺，150 mm行程
·電機驅動x-y載物臺，行程50 mm - 200 mm
·MWAFER- SENTECH地貌圖掃描軟件
·透射測量樣品夾具
·攝象頭選項，用于樣品對準和表面檢測
·液體膜測量單元
·反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
·微細光斑選項，光斑直徑200微米，可選: 100微米
·自動對焦選項，結合地貌圖掃描選項
·SENTECH標準樣片
·附加許可，使SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦
光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
基于windows系統的 SpectraRay II 操作軟件包括一個全面的的建模、模擬和擬合軟件包，操作向導，自動輸出結果，單鍵操作，使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡易。
通過運行操作向導，能夠使操作變的簡單。操作向導能夠指導用戶完成標準的測量程序：測量數據，擬合，輸出結果。操作向導能夠將復雜的測量和擬合的設置變的簡易。
SpectraRay II 軟件也能夠進行反射測量和透射測量。
報告向導能夠自動完成將測量結果輸出到一個web文件。
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